全自動光譜儀橢偏儀M300是一種全自動變角光譜儀橢偏儀和深紫外光譜橢偏儀,具備250-1100nm的光波長，并且具有全自動更改入射角的功效。全自動spectroscopic ellipsometer從深紫外到能見光再從近紅外光.深紫外光波長橢偏儀特別適合精確測量纖薄薄膜薄厚，例如納米技術(shù)薄膜薄厚，例如硅晶圓的薄膜薄厚，典型值在2nm以內(nèi)。針對精確測量很多原材料的帶隙，深紫外光譜橢偏儀也很重要。（請搜索聯(lián)絡(luò)孚光精儀企業(yè) ）

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橢圓偏振技術(shù)性是由科學(xué)研究光線在樣版表層反射面后偏振態(tài)變化和得到表層薄膜薄厚等相關(guān)信息的薄膜測量技術(shù)。

與反射面計或反射光譜技術(shù)不一樣的是，光譜儀橢偏儀主要參數(shù)Psi 和Del并不是在普遍入射角下得到。根據(jù)更改入射角尺寸，可得到很多組數(shù)據(jù)信息，這個就十分有利于提升橢偏儀精確測量薄膜或樣版表層的水平，因而變角橢偏儀作用遠(yuǎn)大于固定不動角橢偏儀。

更改橢偏儀入射角的辦法主要有兩種，一種是手動調(diào)節(jié)，一種是調(diào)節(jié)入射角，大家可以提供二種方式的橢偏儀。

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全自動光譜儀橢偏儀M300特點(diǎn)（請搜索聯(lián)絡(luò)孚光精儀企業(yè) ）

便于組裝，拆裝與維護(hù)

*的光學(xué)系統(tǒng)

全自動更改入射角，入射角分辨率高達(dá)0.01度

大功率250-1100nm燈源適宜多種多樣運(yùn)用

選用陣型探測儀保證快速精確測量

精確測量薄膜膜堆的薄膜厚度折光率

適合于實(shí)或在線監(jiān)控薄膜厚度折光率

具備完備的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)

給予技術(shù)工程師方式，服務(wù)方式和用戶模式三種應(yīng)用方式

靈活多變的技術(shù)工程師方式適用于各種各樣安裝設(shè)置和電子光學(xué)實(shí)體模型精確測量

一鍵快速測量

自動式校準(zhǔn)和復(fù)位

高精密試品自準(zhǔn)直頁面立即試品自準(zhǔn)直，不用附加電子光學(xué)

高精密相對高度和歪斜調(diào)節(jié)

適宜不一樣材料及不一樣后試品基板硅片

2D和3D數(shù)據(jù)顯示導(dǎo)出

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全自動光譜儀橢偏儀M300主要參數(shù)

光波長：250-1100nm

光波長屏幕分辨率：1nm

測量點(diǎn)尺寸：1-5mm可調(diào)式

入射角：10-90度可調(diào)式

入射角屏幕分辨率：0.01度

能品尺寸：達(dá)到300mm 孔徑

能品薄厚：達(dá)到20mm

精確測量薄膜薄厚：0nm ---30um

精確測量時長：~1s/點(diǎn)

精密度：~0.25%

重復(fù)精度：